工艺事例丨博顿光电开阳OPIE1550批量镀制激光振镜

  激光振镜是一种运用于激光职业的扫描器材，大多数都用在光路切换，因其作业时步进动作看上去像在高速振荡而得名，也被称为激光扫描镜。激光振镜坐落激光工业链上游，具有

  激光振镜能运用于激光打标、激光内雕、激光切开、激光焊接、激光打孔等激光加工范畴，被大范围的运用于3C电子、精细外表、医疗器械、轿车、3D打印、动力等职业，在工业加工范畴未来商场开展的潜力宽广。

  如上图所示，振镜体系是一种由X-Y光学扫描头, 电子驱动放大器和光学反射镜片组成的高精度、高速度伺服操控体系。

  其作业原理是将激光束入射到两反射镜（扫描镜）上，用计算机操控反射镜的反射视点，这两个反射镜可别离沿X、Y 轴扫描，以到达激光束的偏转，使具有必定功率密度的激光聚集点在打标资料上按特定的轨道运动，从而在资料表面上留下永久的符号。振镜体系对精度的要求很高，高品质的激光振镜是组成振镜体系不可或缺的重要部件。

  工艺运用演示中心选用JGS2石英玻璃或硅为基底，运用博顿光电OPIE1550镀膜机装备自研HIT中空阴极霍尔源进行辅佐镀膜，装备适宜的离子源及膜料堆积工艺参数，终究得到650nm波利益反射率90%、915nm波利益反射率99.5%、1064nm波利益反射率99.5%的激光振镜。

  博顿光电经过联合工业上下游共建“工艺运用演示中心”，充沛验证了博顿光电开阳系列OPIE-1550镀膜设备能安稳的接连多炉次出产激光振镜这种规模化大批量类型产品，设备装载量大，单炉良率可达98%以上，炉次一致性在1%左右，镀制出的各种激光振镜重复精度高、适配性强、可以充沛完成用户对不同光斑巨细的振镜需求。